[发明专利]积层压电致动器及其制造方法无效
| 申请号： | 03124952.3 | 申请日： | 2003-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN1599089A | 公开（公告）日： | 2005-03-23 |
| 发明（设计）人： | 陈志明;涂升利 | 申请（专利权）人： | 飞赫科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22;B41J2/015 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 | 代理人： | 徐申民 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种积层压电致动器及其制造方法，是以网版印刷的方式，以振动板作为基材，在它表面重复网版印刷电极层和压电层的层叠到所需的层数，再以网版印刷方式在最顶端的压电层表面印刷一层上电极层，将电极层、压电层与基材进行共烧，通过印刷技术可以制作各种组合与形状的积层压电结构，并使压电层达到足够的厚度，以降低其驱动电压和提升致动位移量。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 致动器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种积层压电致动器的制造方法，其特征在于，包含以下步骤：(a)提供一个基材；(b)以网版印刷方式在所述基材表面印刷一层电极层；(c)以网版印刷方式在所述电极层表面印刷一层压电层；(e)重复一次以上步骤(b)到步骤(c)；(f)以网版印刷方式在最顶端的所述压电层表面印刷一层上电极层；(g)将所述基材、所述电极层、所述压电层与所述上电极层进行共烧。
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