[发明专利]背面入射型摄像传感器

摘要

提供一种在防止空间解像度下降的同时，除去杂散光影响的背面入射型摄像传感器。在单晶硅衬底11的表面一侧中，配置驱动光电变换部12的驱动电路或处理来自光电变换部的信号的电路13，从水平方向只偏离开口20规定的距离D。由此除去杂散光的影响。另外，半导体衬底因为具有高的折射率，所以本质上空间解像度下降少，如果薄膜化衬底则更好。

主权项

1.一种背面入射型摄像传感器，在半导体衬底的表面一侧上形成有光电变换部和电路，在上述半导体衬底的背面一侧上形成有开口部，从形成在上述半导体衬底的背面一侧上的开口部入射光线，用形成于上述半导体衬底的表面一侧上的光电变换部检测入射的光线，其中，上述电路配置为在水平方向上只离开上述开口部规定距离。