[发明专利]流量传感器及制造方法有效
| 申请号： | 03125149.8 | 申请日： | 2003-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN1460839A | 公开（公告）日： | 2003-12-10 |
| 发明（设计）人： | 关宏治;图师信彦;池信一;中野正志;中田太郎;上运天昭司 | 申请（专利权）人： | 株式会社山武 |
| 主分类号： | G01F1/68 | 分类号： | G01F1/68;G01P5/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 戎志敏 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种流量传感器，包括基底、电绝缘膜和流动速度检测装置。具有与测量目标流体接触的第一表面的薄的部分的基底，和围绕薄的部分的厚的固定部分整体形成。电绝缘膜在薄的部分的第二表面形成，这在第一表面相反一面；流动速度检测装置(112，125)置于电绝缘膜(113，117)上。流动速度检测装置位于电绝缘膜。也描述了流量传感器的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 流量传感器 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种流量传感器，其特征在于包括：基底(124，156，128)上有与测量目标流体(107，102)接触的第一表面的薄膜片部分(124B，156B1，128B)，它和围绕薄膜片部分的厚的固定部分(124A，156A，128A)整体形成；电绝缘膜(113，117)在薄膜片部分的第二表面形成，这是在与第一表面相反的一面；流动速度检测装置(112，125)置于电绝缘膜(113，117)上。
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