[发明专利]用于制作有机电致发光显示器的蒸镀装置无效
| 申请号： | 03126787.4 | 申请日： | 2003-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN1468972A | 公开（公告）日： | 2004-01-21 |
| 发明（设计）人： | 周卫华;付东;张泓;尚娅娴;舒逸;姜翠宁;黄启耀 | 申请（专利权）人： | 深圳市创欧科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人： | 李启首 |
| 地址： | 518029广东省深圳市福*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于制作有机电致发光显示器的蒸镀装置，旨在解决现有的蒸镀装置导致的基片蒸镀图案不精确、蒸镀膜后不均匀等问题，包括一个与各个蒸发器相连通并独立于各个蒸发器之外的真空状态的蒸镀室(60)，基片(8)位于蒸镀室(60)内的工作台(9)的台面上，掩模板(7)贴于基片(8)的上表面或外表层，蒸镀室(60)的底部与真空抽气系统(61)相通，所述的蒸镀室(60)与各个蒸发器之间还可以进一步设置有混合腔室(4)。采用本发明后，可以得到精确、均匀的基片蒸镀图案，缩小真空蒸镀室的体积，降低蒸镀的成本，此外，本发明还具有在不改变蒸镀室的真空状态下，可以对不同的蒸镀源单独连续加料等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制作 有机 电致发光 显示器 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于制作有机电致发光显示器的蒸镀装置，包括至少一个可以被密封的第一蒸发器(20)，第一蒸发源(202)放置在所述的第一蒸发器(20)的内腔中，还包括第一加热器(201)，所述的第一加热器(201)位于所述的第一蒸发器(20)的壁体之中或壁体的外侧；其特征在于：还包括有一个真空状态的蒸镀室(60)，所述的蒸镀室(60)独立于第一蒸发器(20)之外并和第一蒸发器相连通，基片(8)位于所述的蒸镀室(60)内的工作台(9)的台面上，掩模板(7)贴于所述的基片(8)的上表面或外表层，所述的蒸镀室(60)与真空抽气装置(61)相通。
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