[发明专利]有机聚合物阵列波导光栅及其制作方法无效
| 申请号： | 03127171.5 | 申请日： | 2003-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN1527076A | 公开（公告）日： | 2004-09-08 |
| 发明（设计）人： | 张大明;崔占臣;赵禹;王菲;马春生;刘式墉 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G02B6/124 | 分类号： | G02B6/124 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张景林;张凯军 |
| 地址： | 130023吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明属于有机聚合物阵列波导光栅及其制作方法：以单晶硅片为衬底(1)，在硅片上涂覆聚合物下包层材料(2)后进行烘干，然后旋涂聚合物芯层材料(3)；烘干后在芯层材料上蒸发或溅射铝膜(4)，再在铝膜上涂覆光刻胶(5)，用阵列波导光栅掩膜板(7)进行光刻；然后进行氧反应离子刻蚀(9)；刻蚀后在聚合物芯层材料上得到阵列波导光栅的图形，再旋涂聚合物上包层材料(12)，烘干后得到阵列波导光栅。本发明的器件及其制作方法不仅容易控制聚合物芯层(13)和包层材料((2)、(12))的折射率差，而且容易控制每一层材料的厚度；可灵活选择包层和芯层材料，实现优化设计，器件成本低，成品率高，适合大批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 聚合物 阵列 波导 光栅 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、有机聚合物阵列波导光栅，依次由硅衬底(1)、下包层(2)、芯层(13)和 上包层(12)组成，其特征在于：下包层(2)和上包层(12)以及芯层(13) 均是有机聚合物材料，芯层(13)的折射率大于下包层(2)和上包层(12)。
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