[发明专利]干涉测位仪

摘要

提出一种包括光源的干涉测位仪，光源沿光轴方向发出光束。在光源后面的光学元件转换来自光源的光束。在转换光束区内安置一标度光栅，它将入射光束至少分解成第一和第二分光束，分光束沿不同空间方向传播。在第一和第二分光束的光路中，各安置一扫描光栅，它们又将第一和第二分光束分解成第三和第四或第五和第六分光束，至少其中两个分光束再次相遇。在同第一目标相连的标度光栅相对同第二目标相连的光源和扫描光栅运动时，在检波平面中得到周期性调制的并有规定的空间干涉条纹图形－周期(P_1P)的干涉条纹图形。为检测相移的扫描信号，例如可利用安置在检波平面中的检波光栅和多个光电子检波器件，或利用安置在检波平面中的周期性检波器装置。

主权项

1.干涉测位仪，它用于测定至少在一个测量方向(X)上相对移动的两个目标的相对位置并且它包括：-一个光源(1)，它沿一光轴(OA)的方向发出一个光束，-一个安置在光源(1)后面的光学元件(2)，该光学元件转换来自光源(1)的光束，-一个安置在光源(1)后面的标度光栅(3)，该光栅将入射光束至少分解成一个第一分光束和一个第二分光束(+1)、(-1)，这两个分光束沿不同的空间方向传播，-分别安置在第一和第二分光束(+1)、(-1)的光路中的每一个扫描光栅(4.1、4.2)，其中，每个扫描光栅(4.1、4.2)又将第一和第二分光束(+1)、(-1)分解为第三和第四分光束或第五和第六分光束，其中至少有两个分光束(+1，-1)、(-1，+1)再次相遇；其中在同第一目标相连的标度光栅(3)相对同第二目标相连的光源(1)和扫描光栅(4.1，4.2)相对运动的情况下，在一个检波平面(D)中得到一个周期性调制的并有一个规定的空间干涉条纹图形-周期(PIF)的干涉条纹图形，-一个安置在该检波平面中的检波光栅(5)，该检波光栅将透过检波光栅(5)的光沿至少三个不同的空间方向加以分解，-设置在所述的至少三个空间方向上的光电子检波器件(6.1，6.2，6.3)，它们用于获取相移的扫描信号(S 0°，S 120°，S 240°)。