[发明专利]基于电子束的图形扫描方法和图形扫描装置无效
| 申请号： | 03127750.0 | 申请日： | 2003-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN1484098A | 公开（公告）日： | 2004-03-24 |
| 发明（设计）人： | 增田修;古田和三 | 申请（专利权）人： | 柯尼卡株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/22 | 分类号： | G03F7/22;G02B3/08;G11B7/135 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马莹;邵亚丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种基于电子束的图形扫描方法，对基材照射电子束，通过按规定的剂量量扫描所述电子束而在所述基材上图形扫描期望的扫描图形，该方法包括：第1步骤，按第1剂量量扫描所述电子束并扫描所述基材的第1区域；第2步骤，按第2剂量量扫描所述电子束并扫描所述基材的第2区域；以及倾斜步骤，混合按所述第1剂量量扫描所述电子束的第1扫描和按所述第2剂量量扫描所述电子束的第2扫描，将第1区域和第2区域的边界面作为倾斜面；从而在所述基材上扫描期望的扫描图形。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 电子束 图形 扫描 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电子束图形扫描方法，对基材照射电子束，通过按规定的剂量量扫描电子束而在所述基材上扫描期望的扫描图形，该方法包括：第1步骤，按第1剂量量扫描所述电子束并扫描所述基材的第1区域；第2步骤，按第2剂量量扫描所述电子束并扫描所述基材的第2区域；以及倾斜步骤，混合按所述第1剂量量扫描所述电子束的第1扫描和按所述第2剂量量扫描所述电子束的第2扫描，将第1区域和第2区域的边界面作为倾斜面；从而在所述基材上扫描期望的扫描图形。
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