[发明专利]一种可调谐光滤波器

摘要

本发明公开了一种可调谐光滤波器，涉及可调谐光滤波器，具体涉及可变闪耀光栅、控制元件和波导耦合机构的组合，可以制作成现在广泛适用的可调谐光滤波器。本发明包括信号输入端、可变闪耀光栅、一与可变闪耀光栅连接的微位移器、信号输出端、以及驱动模块和控制模块。可变闪耀光栅制作在可形变的基板上的，通过改变基板的几何长度从而改变作为分光元件的闪耀光栅的光栅常数，这样就能够达到波长选择的目的。用户可以通过接口发送控制信号到驱动模块，驱动模块根据接收到的控制信号驱动微位移器运动。可变闪耀光栅特征在于其光栅常数可变。本发明设计合理，适于批量制作，调谐范围宽，结构紧凑，体积小，响应速度快，精度高，功耗小。

主权项

1、一种可调谐光滤波器，包括信号输入端(1)、信号输出端(4)、微位移器(3)、驱动模块(5)、控制模块(6)和分光元件，其特征在于：分光元件是一种可变闪耀光栅(2)；可变闪耀光栅(2)分别与信号输入端(1)、信号输出端(4)连通，控制模块(6)通过驱动模块(5)与微位移器(3)连通；可变闪耀光栅(2)，从上到下，依次由可伸缩薄膜(2.1)、二氧化硅层(2.2)、硅层(2.3)组成，二氧化硅层(2.2)和硅层(2.3)为腐蚀掉硅层区域的二氧化硅-硅基板，可伸缩薄膜(2.1)涂布在二氧化硅-硅基板表面，栅线刻划在可伸缩薄膜(2.1)的基板上，可伸缩薄膜(2.1)的基板与微位移器(3)的可动部件连接；该可变闪耀光栅(2)反射工作面镀以金属铝或其它可以获得高反射率的稳定金属膜。