[发明专利]制备结晶氮化碳薄膜的方法及装置

摘要

本发明是一种制备结晶氮化碳薄膜的方法及装置。其方法是：在氮气氛下，用脉冲电弧放电方式，将溶液在常压和脉冲电压2～30KV下，诱导电极产生脉冲电弧放电，使溶液电离成含碳、氮的等离子体，冲向并沉积在基板(6)上，制得结晶氮化碳薄膜。该装置设有脉冲电弧放电的机构及高压和电弧产生电路。该机构包括基板(6)和与之相连的电加热器(7)，基板(6)、电加热器(7)和电极位于半密封箱体(9)腔内，基板(6)在电极的下方或四周；设有2条带有控制阀(1)的管道(2)，分别是通氮气和溶液的管道，其下端伸入半密封箱体(9)腔内；通溶液的管道，其下端出口处于电极的上方。本发明具有产率高、工艺简单和利于推广等优点。

主权项

1.一种制备结晶氮化碳薄膜的方法，其特征是在氮气氛下，用脉冲电弧放电方式，将溶液在常压和脉冲电压2～30KV条件下，诱导电极产生脉冲电弧放电，使溶液电离成含碳、氮的等离子体，冲向并沉积在基板(6)上，制得结晶氮化碳薄膜；溶液是有机溶液，或有机溶液与氨水的混合溶液。