[发明专利]高亮度超光洁检测装置无效
申请号: | 03128908.8 | 申请日: | 2003-05-28 |
公开(公告)号: | CN1553171A | 公开(公告)日: | 2004-12-08 |
发明(设计)人: | 应永伟;周德林 | 申请(专利权)人: | 上海申菲激光光学系统有限公司 |
主分类号: | G01N21/84 | 分类号: | G01N21/84;G01N21/88 |
代理公司: | 上海开祺专利代理有限公司 | 代理人: | 李兰英 |
地址: | 2016*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种高亮度超光洁检测装置,本发明包括发光源(1),非球面聚光镜(2),球面聚光镜(6),投影物镜(3);所述的发光源(1)经非球面聚光镜(2)和球面聚光镜(6)通过投影物镜(3)指向被照物体;所述的非球面聚光镜(2)的截面X和Y满足方程式Y2=AX-BX2+CX3;本发明的有益效果是:如果采用的灯泡是250W/24V,有效光通量为2500流明以上;150W/24V,有效光通量为2000流明以上;而局部的光照度可达到200000勒克斯,光线均匀度为60%以上,能清晰地观察不同大小工件的表面质量,如玻璃表面划痕,气泡,条纹,麻点,油迹,以及集成电路模块的各类疵病一览无遗,达到了检测的目的。 | ||
搜索关键词: | 亮度 光洁 检测 装置 | ||
【主权项】:
1.一种高亮度超光洁检测装置,包括发光源(1),非球面聚光镜(2),球面聚光镜(6),投影物镜(3);所述的发光源(1)经非球面聚光镜(2)和球面聚光镜(6)通过投影物镜(3)指向被照物体;其特征在于:所述的非球面聚光镜(2)的截面X和Y满足方程式Y2=AX-BX2+CX3;所述的系数A在大于等于40和小于等于50之间,系数B在大于0和小于等于1之间,系数C在大于0和小于等于0.002之间;所述的X为横向值,Y为纵向值;其直径(2Y)在4厘米到10厘米之间。
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