[发明专利]带有微型连接构件的基板及其制作方法无效
申请号: | 03128997.5 | 申请日: | 2003-05-30 |
公开(公告)号: | CN1481000A | 公开(公告)日: | 2004-03-10 |
发明(设计)人: | 焦继伟;黄蓉;王跃林 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/48;H01L49/00;G01P15/12;B81B7/00;B81B5/00 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 潘振甦 |
地址: | 200050*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及带有微型连接构件的基板及其制作方法,可分为带有导入孔构件的第一基板和带有插入头构件的第二基板。导入孔构件,由第一基板上的至少两个导入孔部和至少两个隔离孔部,以及两者之间的间隔块部组成;导入孔部由垂直于第一基板表面的导入直孔及其下端的第一底部宽孔,以及位于该底部宽孔与导入直孔下端交接处的、伸向底部宽孔的第一突起部组成。插入头构件,包含至少两个插入头部,由垂直于第二基板表面的插入块及其下端两侧与基板表面交接处的凹部、及第三突起部组成。插入头部与导入孔部对准,将插入头插入导入孔,形成第一突起部与第三突起部的横向交叉,实现锁定连接。提供了一种工艺简单、封装应力低、具有多器件通用性的晶圆级封装规范。 | ||
搜索关键词: | 带有 微型 连接 构件 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
1.一种带有微型连接构件的基板,其特征在于:1)由带有导入孔构件的第一基板和带有插入头构件的第二基板组成;2)所述的第一基板上的导入孔构件,由第一基板上的至少两个导入孔部和至少两个隔离孔部,以及所述导入孔部和隔离孔部之间的间隔块部组成;其中,导入孔部由垂直于第一基板表面的导入直孔、导入直孔下端相接的第一底部宽孔,以及位于该底部宽孔与所述导入直孔下端的交接处的、伸向该底部宽孔的第一突起部组成;隔离孔部由垂直于第一基板表面的隔离直孔、与该隔离直孔下端相接的第二底部宽孔,以及位于该第二底部宽孔与所述隔离直孔下端的交接处的、伸向该第二底部宽孔的第二突起部组成;3)所述的第二基板上的插入头构件,至少包含两个插入头部,它是由垂直于第二基板表面的插入块、该插入块的下端两侧与基板表面交接处的凹部、位于该凹部与所述插入块下端交接处的伸向第二基板表面的第三突起部组成。4)所述的插入头部与导入孔部对准,将插入头插入导入孔,形成所述第一突起部与第三突起部的横向交叉,实现锁定连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所,未经中国科学院上海微系统与信息技术研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/03128997.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造