[发明专利]高频及中频感应加热温度控制装置无效
申请号: | 03129346.8 | 申请日: | 2003-06-18 |
公开(公告)号: | CN1475766A | 公开(公告)日: | 2004-02-18 |
发明(设计)人: | 赵志伟;徐军;邓佩珍;徐晓东;宋平新;周圣明;周国清 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | F27B14/20 | 分类号: | F27B14/20;H05B6/24;G05D23/19 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 201800上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种高频及中频感应加热温度控制装置,其特征在于它由拾波线圈、滤波电阻电容、真空热偶管和杜瓦瓶组成,拾波线圈的两端并联滤波电阻电容后接真空热偶管的灯丝相连,而真空热偶管的热电偶的两端延伸一控温信号端,该真空热偶管放在盛满变压器油的杜瓦瓶中。本发明具有控温范围宽、信号波动小、成本低等优点,有利于晶体生长的精密控温,有利于提高晶体质量。 | ||
搜索关键词: | 高频 中频 感应 加热 温度 控制 装置 | ||
【主权项】:
1、一种高频及中频感应加热温度控制装置,其特征在于它由拾波线圈(1)、滤波电阻电容(2)、真空热偶管(3)和杜瓦瓶(5)组成,拾波线圈(1)的两端并联滤波电阻电容(2)后接真空热偶管(3)的灯丝(31)相连,而真空热偶管(3)的热电偶(32)的两端延伸一控温信号端(33),真空热偶管(3)放在盛满变压器油(4)的杜瓦瓶(5)中。
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