[发明专利]γ－LiAlO2/α－Al2O3复合衬底材料的制备方法

摘要

一种γ－LiAlO₂/α－Al₂O₃复合衬底材料的制备方法，包括如下具体步骤：在铂金坩埚内，放置有带气孔的LiAlO₂和Li₂O混合料块；将双面抛光或单面抛光的蓝宝石α－Al₂O₃晶片置于或悬于铂金丝上，加上覆盖有LiAlO₂和Li₂O混合粉料和热电偶的坩埚盖，坩埚顶部加铂金盖密闭，置于电阻炉中；该电阻炉加热升温至1000～1400℃左右，恒温20～100小时，Li₂O扩散到α－Al₂O₃晶片中，降温后可得到LiAlO₂/α－Al₂O₃复合衬底材料。本发明克服了α－Al₂O₃衬底晶格失配度大和难以获得大尺寸高质量LiAlO₂单晶衬底等问题，可用于生长高质量InN－GaN薄膜外延生长。

主权项

1一种γ-LiAlO2/α-Al2O3复合衬底材料的制备方法，其特征在于包括如下具体步骤：①在铂金坩埚内，放置有带气孔的LiAlO2和Li2O混合料块；②将双面抛光或单面抛光的蓝宝石α-Al2O3晶片置于或悬于铂金丝上，加上覆盖有LiAlO2和Li2O混合粉料和热电偶的坩埚盖，坩埚顶部加铂金盖密闭，置于电阻炉中；③该电阻炉加热升温至1000～1400℃，恒温20～100小时，Li2O扩散到α-Al2O3晶片中，降温后可得到LiAlO2/α-Al2O3复合衬底材料。