[发明专利]基于光刻的喷丝毛细孔加工方法无效
| 申请号： | 03129624.6 | 申请日： | 2003-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN1195105C | 公开（公告）日： | 2004-03-17 |
| 发明（设计）人： | 刘景全;陈迪 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C25D1/08 | 分类号： | C25D1/08;C25D1/10;D01D4/02 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟 |
| 地址： | 20003*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于光刻的喷丝毛细孔加工方法属于化纤生产技术领域。本发明首先根据喷丝毛细孔的形状制作掩膜板，然后在导电基底上形成均匀的光刻胶层，接着进行紫外曝光，再进行电铸得到金属结构，最后去除喷丝毛细孔内光刻胶。本发明采用厚胶紫外光刻技术来解决喷丝板复杂孔、同板异孔的加工，本加工方法具有灵活性好、一致性好、精度高、成本低、适于大批量生产等特点，为制造喷丝毛细孔提供一种加工方法。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光刻 喷丝毛 细孔 加工 方法 | ||
【主权项】：
1、一种基于光刻的喷丝毛细孔加工方法，其特征在于，首先根据喷丝毛细孔的形状制作掩膜板，然后在导电基底上形成均匀的光刻胶层，接着进行紫外曝光，再进行电铸得到金属结构，最后去除喷丝毛细孔内光刻胶。
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