[发明专利]精密气体配比器无效
| 申请号： | 03129628.9 | 申请日： | 2003-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN1474244A | 公开（公告）日： | 2004-02-11 |
| 发明（设计）人： | 包晔峰;周昀;吴毅雄;曹平;林观志;施成源 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学;上海冠达尔钢结构有限公司 |
| 主分类号： | G05D27/02 | 分类号： | G05D27/02;G05D7/06;G05D21/00 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟 |
| 地址： | 20003*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种精密气体配比器，属于仪器仪表领域。本发明主要包括：气体进口、气体流量及配比控制系统、气体混合器和混合气体出口，气体进口与气体流量及配比控制系统相连，气体流量及配比控制系统与气体混合器相连，气体混合器与混合气体出口相连，气体流量及配比控制系统中包含两路或者两路以上气体流量控制系统。本发明对一些需精密控制混合体中各组分气体或对混合气体中某些少量混合比必须精确控制的应用场合，如微电子加工、精密分析、特种焊接、材料净化，都可以提供可靠配比的混合气体，有利于工艺参数调整与稳定，准确地保证工作目的达到。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 气体 配比 | ||
【主权项】：
1、一种精密气体配比器，包括：气体进口(1)、气体混合器(3)和混合气体出口(4)，其特征在于还包括：气体流量及配比控制系统(2)，气体进口(1)与气体流量及配比控制系统(2)相连，气体流量及配比控制系统(2)与气体混合器(3)相连，气体混合器(3)与混合气体出口(4)相连，气体流量及配比控制系统(2)中包含两路或者两路以上气体流量控制系统(5)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海交通大学;上海冠达尔钢结构有限公司，未经上海交通大学;上海冠达尔钢结构有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03129628.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：预测系统
- 下一篇：供笔记本电脑用的无线组件
