[发明专利]利用预蚀刻玻璃基材以降低事后释放时间的方法无效
| 申请号： | 03130733.7 | 申请日： | 2003-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN1548360A | 公开（公告）日： | 2004-11-24 |
| 发明（设计）人： | 黄荣山;陈炳儒;曾士原 | 申请（专利权）人： | 华新丽华股份有限公司 |
| 主分类号： | B81C3/00 | 分类号： | B81C3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 任永武 |
| 地址： | 台湾省台北市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是为一种利用预蚀刻玻璃基材以降低事后释放时间的方法，其步骤包含提供一玻璃基材、一微小结构物、及一硅基底座；将该玻璃基材与该微小结构物接合；对该玻璃基材进行一第一蚀刻制程，以缩减该玻璃基材与该微小结构物的接触面积；将该微小结构物与该硅基底座结合；以及对该玻璃基材进行一第二蚀刻制程，以将该玻璃基材由该微小结构物上去除。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 蚀刻 玻璃 基材 降低 事后 释放 时间 方法 | ||
【主权项】：
1.一种利用预蚀刻玻璃基材以降低事后释放时间的方法，其特征在于，包含以下步骤：提供一玻璃基材、一微小结构物、及一硅基底座；将该玻璃基材与该微小结构物接合；对该玻璃基材进行一第一蚀刻制程，以缩减该玻璃基材与该微小结构物的接触面积；将该微小结构物与该硅基底座结合；以及对该玻璃基材进行一第二蚀刻制程，以将该玻璃基材由该微小结构物上去除。
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