[发明专利]使用图案化发射体的电子光刻设备无效
| 申请号： | 03131171.7 | 申请日： | 2003-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN1469200A | 公开（公告）日： | 2004-01-21 |
| 发明（设计）人： | 金东煜;柳寅儆;文昌郁;金仁淑 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李晓舒;魏晓刚 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种使用图案化发射体的电子光刻设备。该电子光刻设备包括将图案化金属薄层用作掩模来发射电子的热电发射体。当发射体受热时，电子自发射体的覆盖有图案化介电层的部分发射出，而不从发射体的覆盖有图案化金属薄层的部分发射出来，从而将发射体的图案投影到衬底上。为了防止所发射的电子束发散，电子束通过磁体、DC磁场发生器或偏转器来控制。因此，可以容易地在衬底上获得所需图案的一比一或x比一的投影。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 图案 发射 电子 光刻 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于提供图案的一比一投影的电子光刻设备，该设备包括：设置得距离衬底夹具一预定距离的热电发射体，该发射体包括在其面对衬底夹具的表面上具有图案化介电层的热电板，其中，热电板表面的由图案化介电层露出的部分形成有金属薄层；加热发射体的热源；以及磁体或DC磁场发生器，其设置在发射体和衬底夹具之外，以改变自发射体发射的电子的路径。
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