[发明专利]静电电容式压力传感器及其制造方法无效
| 申请号： | 03131277.2 | 申请日： | 2003-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN1469109A | 公开（公告）日： | 2004-01-21 |
| 发明（设计）人： | 森下贞治;外谷高志;吉田伸辅;野添悟史;葛山大介 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;H01G4/228 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李贵亮;杨梧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种静电电容式压力传感器及其制造方法。该传感器组装精度高，没有检测精度偏移。其在基板11、21的相对面中的平板电极12、22的周围设环状的间隔基18；同时在上述间隔基18的周围设有由软化点或者熔点比间隔基18低的材料形成熔结23。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 电容 压力传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种静电电容式压力传感器，其结构是在两片基板相对面分别设置以规定间隙相对的平板电极，其特征在于：在上述基板的相对面中的上述平板电极的周围设置环状的间隔基；同时在上述间隔基周围设有由软化点或熔点比上述间隔基低的材料形成的熔结。
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