[发明专利]横向驱动微机械式可变电容器无效
| 申请号： | 03131538.0 | 申请日： | 2003-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN1453804A | 公开（公告）日： | 2003-11-05 |
| 发明（设计）人： | 刘清惓;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | H01G5/00 | 分类号： | H01G5/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 南京经纬专利代理有限责任公司 | 代理人： | 王之梓 |
| 地址： | 210096*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种涉及微电子机械系统技术的横向驱动微机械式可变电容器，由上电极板和下电极板组成，下电极板设在绝缘层上，在上电极板上连接有微执行器。由于本发明将上电极板连接于微执行器，而微执行器可以驱动上电极板作横向平动，由此改变上、下电极板之间的交叠面积，使电容的大小发生改变，再由于交叠面积的改变与电容大小的改变为线性关系，故微执行器所产生的位移与电容变化量之间呈线性关系，具有线性度好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 横向 驱动 微机 可变电容器 | ||
【主权项】：
1、一种涉及微电子机械系统技术的横向驱动微机械式可变电容器，由上电极板(1)和下电极板(2)组成，下电极板(2)设在绝缘层(3)上，其特征在于在上电极板(1)上连接有微执行器(4)。
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