[发明专利]微电子机械系统模块的系统级设计库的建立方法

摘要

微电子机械系统模块的系统级设计库的建立方法是微电子机械系统自主设计模块(MEMSIP核)以及单个微电子机械系统(MEMS)器件模型的建立方法，该方法为MEMSIP核的参数－性能图谱描述方法或MEMS－IP核的类型、参数的编译接口方法，MEMSIP核的参数－性能图谱描述方法是根据MEMS－IP核的微机械结构，输入与其对应的物理参数与工艺、结构参数，采用有限元方法，或利用商品化分析软件，计算MEMS－IP核的性能，获得性能－参数的数据，以此输入－输出数据作为数据库的内容即称为参数－性能图谱，MEMS－IP核的类型、参数的编译接口方法是对于MEMS－IP核，采用F－I类比或F－V类比的方式建立等效电路宏模型，采用软件编程的方法将该宏模型编入程序，并设计完成用户的参数输入“与、或”选择接口。

主权项

1、一种微电子机械系统模块的系统级设计库的建立方法，其特征在于该方法为MEMSIP核的参数-性能图谱描述方法或MEMS-IP核的类型、参数的编译接口方法，MEMSIP核的参数-性能图谱描述方法是根据MEMS-IP核的微机械结构，输入与其对应的物理参数与工艺、结构参数，采用有限元方法，或利用商品化分析软件，计算MEMS-IP核的性能，获得性能-参数的数据，以此输入-输出数据作为数据库的内容即称为参数-性能图谱，具体方法为：(a)确定需要建立的MEMSIP核的基本结构并确定对IP核性能影响较大的主要物理参数变量和工艺参数变量，如质量m和材料的刚度系数k，(b)利用力学理论、材料理论计算以及计算机，通过不断地改变物理参数变量值和工艺参数变量值，分析计算IP核的性能跟随变化情况，获得IP核的性能-参数图谱，(c)建立参数-性能的搜索索引，根据参数-性能的主要依附关系建立索引，(d)建立IP核调用接口，该接口的主要描述是IP核的名称，如微机械梳状谐振器，参数定义，如质量，刚度系数等，(e)纳入MEMSIP库，在IP库列表上添加该IP核名。