[发明专利]虹吸提升法腐蚀制备光纤微探针的装置及方法

摘要

虹吸提升法腐蚀制备光纤微探针的装置及方法。是一种近场光学显微镜用光纤探针、近场探测器用探针、微传感器用微探针的制备方法，该方法先将光纤的一端固定于采用腐蚀液容器的上方，另一端位于腐蚀液容器中的腐蚀液中，腐蚀液容器悬浮在虹吸主容器中的液面上，采用虹吸的方法将虹吸主容器中的液体吸入虹吸附容器中，调整虹吸管中间的虹吸调速阀门，使虹吸主容器中的液面按预定的速度下降，从而带动位于悬浮载物台上的腐蚀液容器下降，使腐蚀液容器中的腐蚀液的液面缓缓离开固定于螺旋测微器上的光纤，按照预定的下降速度腐蚀出所需的探针。该方法造价低，重复性能好，工艺简单易控，清洁环保，针尖超锐、针尖锥体形状可控、针尖均匀变细表面光滑且有较好的锥体角。

主权项

1、一种虹吸提升法腐蚀制备光纤微探针的装置，其特征在于该装置由磁力定位悬浮载物装置(1)、虹吸液面控制装置(2)、光纤探针位置控制装置(3)三个部分所组成；其中，虹吸液面控制装置(2)中的虹吸主容器(2.1)与虹吸附容器(2.4)之间由虹吸管(2.2)连通，在虹吸管(2.2)中间设有虹吸调速阀门(2.3)；磁力定位悬浮载物装置(1)中的定位磁体A(1.1)位于虹吸液面控制装置(2)中虹吸主容器(2.1)内的底部，在虹吸液面控制装置(2)中注有液体，悬浮载物台(1.2)为空心状悬浮于虹吸主容器(2.1)中的液面上，在悬浮载物台(1.2)内的底部设有定位磁体B(1.2.1)；在悬浮载物台上平面(1.2.2)上设有光纤探针位置控制装置(3)中的腐蚀液容器(3.5)，螺旋测微器(3.3)位于腐蚀液容器(3.5)的上方，光纤(3.4)的一端固定在螺旋测微器(3.3)上，另一端位于腐蚀液容器(3.5)中的腐蚀液(3.5.2)中。