[发明专利]多层膜电容式压力传感器有效
| 申请号： | 03131834.7 | 申请日： | 2003-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN1484008A | 公开（公告）日： | 2004-03-24 |
| 发明（设计）人： | 周闵新;黄庆安;秦明 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王之梓 |
| 地址： | 21009*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明是一种用于传递压力信号的多层膜电容式压力传感器，由电容极板及连接电极板的引线组成，电容极板为电极膜，电极膜之间由电容介质膜填充，电容极板及引线设在衬底上，在电容极板的下方设有空腔。本发明改变了其电容的极板结构，采用了多层膜结构，即采用两层电极板膜将介质膜夹在其间，形成夹层膜结构，夹层膜受压力作用产生形变，介质材料面积发生变化从而导致传感器电容发生变化，可变电容由上下极板电极材料引出，由于面积变化与压力呈现很好的线性关系，所以夹层电容式压力传感器结构具有很好的线性度。本发明提出的夹层电容结构有效地提高了传感器的灵敏度和线性度，温度漂移小，适用于大温度范围内的压力测量。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 电容 压力传感器 | ||
【主权项】：
1、一种用于传递压力信号的多层膜电容式压力传感器，由电容极板(21和22)及连于电极板的引线(211和221)组成，其特征在于电容极板(21和22)为电极膜，电极膜之间由电容介质膜(23)填充，电容极板(21和22)，电容介质膜(23)及引线(211和221)设在衬底(1)上，在电容极板的下方设有空腔。
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