[发明专利]用于输送基片载架的系统有效
| 申请号： | 03132695.1 | 申请日： | 2003-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN1495118A | 公开（公告）日： | 2004-05-12 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·R·赖斯;杰弗里·C·哈得根斯;埃里克·A·恩格尔哈德;罗伯特·B·洛朗斯;马丁·R·埃利奥特 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07;B65G47/52;H01L21/68 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 刘志平 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在一半导体制造设备中，一输送机输送基片载架。在不停止输送机的情况下，将基片载架从输送机卸载或装载到输送机上。在卸载操作期间，装载和/或卸载机构从输送机升起基片载架，同时匹配输送机的速度。相似地，在装载操作期间，装载/卸载机构使基片载架降低。与输送机进入配合，同时匹配输送机的水平速度。单独的基片，没有载架，也同样可以装载进入输送机和/或从输送机中卸载。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 输送 基片载架 系统 | ||
【主权项】：
1.一种基片输送系统，包括：输送机，用于输送基片载架；和卸载机构，用于从正在移动基片载架的输送机卸载基片载架。
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