[发明专利]层叠型压电部件的制造方法及层叠型压电部件

摘要

本发明在即使形成薄层状及多层结构或采用Ag含有率高的内部电极材料的情况下，也能够得到具备较高的压电d常数，且可抑制绝缘电阻劣化等可靠性下降的层叠型压电部件。由通式ABO₃表示的PZT系钙钛矿型复合氧化物形成了压电陶瓷基体的层叠型压电部件的制造方法中，按A侧成分(Pb)的含有摩尔量比化学计量学组成减少0.5～5.0mol％，且B侧成分的平均价数比化学计量学组成的4价大的要求，混合陶瓷原料，合成上述陶瓷粉末原料，再加工处理上述压电陶瓷粉末原料制得层叠成形体，然后在氧浓度为5.0vol％以下(注：不含0vol％)的低氧化氛围气下，焙烧上述层叠成形体。

主权项

1.层叠型压电部件的制造方法，它是具有数层压电陶瓷层和夹在这些压电陶瓷层间的内部电极层，构成上述压电陶瓷层的压电陶瓷由通式ABO3表示的钙钛矿型复合氧化物形成，且作为A侧成分至少含有Pb，作为B侧成分至少含有Ti的层叠型压电部件的制造方法，其特征在于，包括粉末原料生成工序，该工序中生成上述A侧成分的含有摩尔量比化学计量学组成减少0.5～5.0mol％的压电陶瓷粉末原料；层叠成形体制作工序，该工序中采用上述压电陶瓷粉末原料制得层叠成形体；以及焙烧工序，该工序中在氧浓度按体积％计算为5％以下(注，不含0％)的氛围气中对上述层叠成形体进行焙烧处理。