[发明专利]一种压电石英片式扭矩传感器与制作工艺方法

摘要

一种压电石英片式扭矩传感器与制作工艺方法，属于传感与测量控制领域，该压电石英片式扭矩传感器由上盖、下壳体、扭矩测量晶组、绝缘定位环、接线柱、电极和引线组成，将扭矩测量晶组粘接在上盖和下壳体的内腔凸台中心上；其制作工艺是采用分割电极法布置电极，将一块电极分割成两个半圆形状，用两块电极和三片具有“扭转效应”的圆形YO°切型压电石英晶片组成扭矩测量晶组。该扭矩测量晶组只对扭矩敏感，而与任意方向的径向力和轴向力无关。结构简单，晶片数量少，工艺要求低，操作方便，测量精度高，适合于小扭矩测量。

主权项

1、一种压电石英片式扭矩传感器与制作工艺方法，其压电石英片式扭矩传感器由下壳体[1]、绝缘定位环[2]、扭矩测量晶组、上盖[4]、引线[6]和接线柱[7]组成。其特征是将扭矩测量晶组粘接在上盖[4]和下壳体[1]的内腔凸台中心上，将电极B、D直接接地，而把电极A与电极C并联后，经过导线[6]由接线柱[7]引出体外。绝缘定位环[2]紧帖在下壳体[1]的内腔表面，上盖[4]通过螺钉[3]与下壳体[1]固定在一起。