[发明专利]一种分子束质谱诊断仪的设计方法无效
| 申请号： | 03134019.9 | 申请日： | 2003-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN1525161A | 公开（公告）日： | 2004-09-01 |
| 发明（设计）人： | 徐勇;杨学锋;朱爱民;丁洪斌;宋志民;刘佳宏 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22;H01J49/42 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 | 代理人： | 侯明远 |
| 地址： | 116024辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于等离子体诊断设备技术领域，提供了一种高气压等离子体的活性物种诊断仪的设计方法。其特征是将分子束采样技术与质谱技术相结合，采用三极分子泵差分抽气，同时采用两级液氮吸附泵进一步提高本底真空度，以减少活性物种的损耗，另外采用斩束技术，结合锁相放大器，提高了系统的信噪比。本发明的效果和益处是克服了常规质谱只能在低气压下对活性物种进行检测的缺点，具有工作气压范围宽，检测灵敏度高，可一次得到全谱图等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分子 束质谱 诊断仪 设计 方法 | ||
【主权项】：
1.一种分子束质谱诊断仪的设计方法，是将分子束采样技术与质谱技术相结合，采用差分抽气、液氮吸附泵以及斩束技术等方法减少活性物种损耗，降低本底气压，提高信噪比，其特征是：将真空系统分为I、II、III三个区域，各区采用单独的分子泵进行抽空，同时在II、III区安装液氮冷阱，通过无氧铜块成为II、III区的“液氮吸附泵”。
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