[发明专利]用于薄膜制备的加热控温装置及方法无效
| 申请号： | 03134334.1 | 申请日： | 2003-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN1472359A | 公开（公告）日： | 2004-02-04 |
| 发明（设计）人： | 陈长乐;金克新 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C16/46 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 | 代理人： | 黄毅新 |
| 地址： | 710072陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于薄膜制备的加热控温装置及方法。加热控温装置包括加热控制电路和石墨加热体(1)。石墨加热体(1)为扁平立方体块状石墨，其横断面等距离分布着若干个有若干个通孔的陶瓷管(2)，每两个孔可穿绕一根电阻丝(3)。加热控温装置的方法是根据所要制备薄膜的大小选择适当的基体—石墨加热体(1)，按照要求固定好陶瓷管(2)，按照设计温度要求穿入电阻丝(3)；将电阻丝(3)并联后接入加热电路，使电阻丝(3)一端接低电压大电流供端的负极，电阻丝(3)的另一端通过负载电阻(4)以及继电器(6)的常闭端触点接低电压大电流供端的正极；电路工作就可达到测温、控温目的，可使基体上温度分布均匀，提高薄膜的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 薄膜 制备 加热 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种加热控温装置，包括加热控制电路，其特征在于：还包括石墨加热体(1)。
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