[发明专利]光纤面板表面制作透明电极的方法

摘要

本发明公开了采用高温热解法将透明导电薄膜制备于微通道板选通X射线皮秒分幅相机的光纤面板上用作透明电极的方法。与其它镀膜方法相比，本方法具有制备工艺简单，生产设备及原材料价格低廉的优点。所制透明电极与光纤面板的结合强度大；耐酸碱腐蚀，稳定性好；薄膜方阻小于30Ω/□、平均透过率高于90％。通过实验测试证明了透明电极不但成功解决了电极打火现象、提高了图像的清晰度，而且减小了图像失真，提高了相机的分辨率。这种透明电极可普遍替代现有的条纹相机、微光夜视仪等仪器中的Al膜透明电极。

主权项

1.一种光纤面板表面制作透明电极的方法，其特征在于，采用高温热解法将透明导电薄膜制备于微通道板选通X射线皮秒分幅相机的光纤面板上，包括以下步骤：1)确定光纤面板的温度特性按照与金属环电极封装后的光纤面板的升温特性曲线，考虑玻璃与金属的热膨胀系数的差异，确定成膜温度范围为400℃＜T＜480℃；2)原料配比在成膜温度范围内，确定两种原料(NH4F、SnCl4·5H2O)的配比为F∶Sn＝2.5wt％～3.0wt％；3)光纤面板表面的清洗分别用蒸馏水和乙醇清洁光纤面板表面，祛除污渍及油污后，再放入超声清洗器中用70％的乙醇溶液超声清洗10min，取出置于洁净的烘箱中烘干备用；4)透明电极的制备(1)将按上述配比配制的源溶液经超声雾化器雾化，要求其雾化量为0.5ml/s～0.75ml/s，液滴颗粒小于0.5μm，均匀分布在直径约为10cm的柱形空间内；(2)雾化液滴在载气输运下经预热装置加热到70℃后，送至加热到成膜温度范围的光纤面板表面，发生高温热解反应成膜；(3)采用多次喷涂，且单次喷涂时间不长于10s，通过控制每次喷涂的时间和喷涂次数控制透明电极的电阻；5)退火处理退火时，由温度由成膜温度降至330℃，降温速度控制为20℃/h；当温度从330℃降至室温时，降温速度控制为50℃/h。