[发明专利]一种利用金属材料制作的微机械光开关

摘要

本发明涉及一种利用金属材料制作的微机械光开关，属于光电子器件领域，该结构由基板、微镜、通孔、V形槽、双侧悬臂梁、临时支撑梁、下电极、止动结构和防击穿层等构成，其中微镜的设计为水平结构，以金属为材料，通过在静电驱动下，其双侧的悬臂梁发生扭转，使微镜旋转为垂直状态插入光路，起到改变光路从而实现开关的作用。本结构可以作为光开关单元，有效地制作1×1、1×2、2×2...N×N等多种类型MEMS光开关及阵列。本发明具有结构简单，成品率高，工艺简单，可批量生产等优点，在全光通信网络中的光交叉连接(OXC)、光分插复用(OADM)中可发挥重要作用，同时在全光网络测试设备中也有重要的应用。

主权项

1、一种利用金属制作的微机械光开关，以硅片形成基板，基板上形成有微镜、V形槽、悬梁臂和电极，其特征在于：微镜为可扭转的水平结构，采用金属合金材料，同时也作为上电极；微镜的正下方是供微镜旋转的通孔，孔深稍大于微镜长度；悬梁臂支撑在微镜两侧，为矩形悬臂梁，与微镜为同一金属掩膜版形成，可由静电驱动使微镜旋转为垂直状态；下电极在通孔下部，由硅片上溅射金属形成，与微镜形成的上电极共同构成静电驱动的类平行平板结构；在上下电极之间有微镜止动结构。