[发明专利]镶嵌结构的位元线接触窗插塞的制作方法

摘要

一种镶嵌结构的位元线接触窗插塞的制作方法，是先于两相邻闸极导电结构的间隙内制作一电连接底垫，再于一层间介电层中进行位元线接触窗的蚀刻，进而在电连接底垫上制作一位元线接触窗插塞。

主权项

1.一种镶嵌结构的位元线接触窗插塞的制作方法，包括下列步骤：提供一半导体基底，该基底表面上包含有一第一闸极导电结构以及一第二闸极导电结构，而该基底内包含有一源/汲区域，其中该源/汲区域位于该第一闸极导电结构以及该第二闸极导电结构的空隙内；形成一第一导电层于该第一闸极导电结构以及该第二闸极导电结构的空隙内，且与该源/汲区域形成电性连接；形成一具有平坦表面的层间介电层于该基底表面上，以覆盖该第一导电层、该第一闸极导电结构以及该第二闸极导电结构；形成一位元线接触窗于该层间介电层内，以曝露该第一导电层的顶面；以及形成一第二导电层于该位元线接触窗内，则该第一导电层以及该第二导电层是构成为一镶嵌结构的位元线接触窗插塞。