[发明专利]微结构制造和微系统集成无效

专利信息
申请号: 03136732.1 申请日: 2003-05-15
公开(公告)号: CN1477054A 公开(公告)日: 2004-02-25
发明(设计)人: 黄智礼 申请(专利权)人: 黄智礼
主分类号: B81C5/00 分类号: B81C5/00;B81B7/02
代理公司: 广州三环专利代理有限公司 代理人: 刘孟斌
地址: 美国新*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明涉及微结构器件制造与微系统集成技术。微结构器件通过液态聚合物注入器件模具浇铸制造。器件模具由模型元件和功能元件组合而成,其中模型元件可包括可铸造模型元件。在浇铸微结构器件后,从微结构器件中分离模型元件而保留功能元件在其中,由此实现了具有功能元件和微结构集成器件。
搜索关键词: 微结构 制造 系统集成
【主权项】:
1.一种制造微结构器件的方法,包含组合一个模型元件和一个模具躯体为一个器件模具;从器件模具浇铸一个微器件;从微器件中去除模型元件;和脱模。
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