[发明专利]光罩保护膜的卸除装置有效
申请号: | 03137004.7 | 申请日: | 2003-05-28 |
公开(公告)号: | CN1517792A | 公开(公告)日: | 2004-08-04 |
发明(设计)人: | 李光洋;张启俊;何铭涛;邱铭乾 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | G03F1/16 | 分类号: | G03F1/16;G03F1/00 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 潘培坤;楼仙英 |
地址: | 台湾*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种光罩保护膜的卸除装置,用以快速卸除光罩的保护膜。本发明的光罩保护膜的卸除装置是以把手固定元件作为支点,扳动ㄇ字型把手时借助连动轴将ㄇ字型把手末端的插入元件插进光罩保护膜的孔洞,并藉杠杆原理将光罩保护膜卸离光罩,如此可避免工作人员运用公知卸除器具时不小心刮伤光罩的危险,同时节省卸除光罩保护膜所花的时间。 | ||
搜索关键词: | 保护膜 卸除 装置 | ||
【主权项】:
1.一种光罩保护膜的卸除装置,其特征在于,至少包括:一底座元件,该底座元件上具有至少一滑动轴;至少一承载与固定元件,该至少一承载与固定元件置于该底座元件上,且用以承载及固定具有一光罩保护膜的一光罩;至少一把手固定元件,该至少一把手固定元件借助至少一连接构件与该至少一滑动轴连接;至少一对把手元件,该至少一对把手元件借助多个转动元件与该至少一把手固定元件连接;多个承接元件,该承接元件借助多个连动轴分别连接至该至少一对把手元件的一端;以及多个插入元件,该插入元件借助该连动轴分别连接至该至少一对把手元件的一端,借以当扳动该至少一对把手元件时,将该插入元件插进该光罩保护膜的多个孔洞,该至少一对把手元件以该至少一把手固定元件作为支点,利用杠杆原理将该光罩保护膜卸离该光罩,然后由该承接元件承托已卸离的该光罩保护膜。
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- 专利分类
G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
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