[发明专利]绒面氧化锌透明导电薄膜及其制备方法无效
| 申请号： | 03137254.6 | 申请日： | 2003-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN1460728A | 公开（公告）日： | 2003-12-10 |
| 发明（设计）人： | 张弓;庄大明;付恩刚;方玲;王超;赵方红 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 绒面氧化锌透明导电薄膜及其制备方法涉及用于太阳电池的光电材料技术领域，特别涉及到用于太阳电池的透明导电薄膜设计技术领域。其特征在于，这种薄膜是一种绒面的氧化锌透明导电薄膜。制备该薄膜的方法是磁控溅射方法，其特征在于，溅射气体的压力为3.0Pa～15.0Pa；衬底温度为20℃～400℃。本发明的氧化锌透明导电薄膜具有较高的绒度和表面粗糙度，能够增加光的吸收。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌 透明 导电 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、绒面氧化锌透明导电薄膜，其特征在于，它是一种绒面的氧化锌透明导电薄膜。
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