[发明专利]光阻剥离方法无效
| 申请号： | 03137356.9 | 申请日： | 2003-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN1567095A | 公开（公告）日： | 2005-01-19 |
| 发明（设计）人： | 张毅;卢添荣 | 申请（专利权）人： | 铼宝科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;H05B33/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 台湾省新竹县湖*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种光阻剥离方法，用来剥离有机电激发光显示面板表面上的光阻，该光阻剥离方法包括：以一剥离单元提供剥离液以去除该有机电激发光显示面板表面上的光阻。以一清洗单元喷洒一清洗溶液以移除该有机电激发光显示面板表面上残留的剥离液。以一吹干单元吹干该有机电激发光显示面板。以一传送单元连续传送的方式将该有机电激发光显示面板传送至该剥离单元、该清洗单元以及该吹干单元中。以一控制单元控制该传送单元的传送顺序与传送时间，以精确地控制该有机电激发光显示面板于每一个单元中的处理时间。 | ||
| 搜索关键词： | 剥离 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光阻剥离方法，适用来剥离一有机电激发光显示面板表面上的光阻，其特征是，该方法包括：该有机电激发光显示面板置于一传输滚轮单元上；该传输滚轮单元将该有机电激发光显示面板送入一第一正丁基乙酯剥离槽中；在该第一正丁基乙酯剥离槽中，提供正丁基乙酯剥离该有机电激发光显示面板表面上的光阻；该传输滚轮单元将该有机电激发光显示面板送入一第二正丁基乙酯剥离槽中；在该第二正丁基乙酯剥离槽中，提供正丁基乙酯剥离该有机电激发光显示面板表面上的光阻；该传输滚轮单元将该有机电激发光显示面板送入一异丙醇剥离清洗槽中；在该异丙醇剥离清洗槽中，提供异丙醇以去除残留于该有机电激发光显示面板表面的光阻及正丁基乙酯；该传输滚轮单元将该有机电激发光显示面板送入一第一清洗槽中；以去离子水喷洒该有机电激发光显示面板表面，以洗掉残留的异丙醇；该传输滚轮单元将该有机电激发光显示面板送入一第二清洗槽中；以去离子水喷洒该有机电激发光显示面板表面，以洗掉残留的异丙醇；该传输滚轮单元将该有机电激发光显示面板送入一吹干单元中；以一风刀清除附着于该有机电激发光显示面板表面的去离子水。
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