[发明专利]一种双栅金属氧化物半导体晶体管及其制备方法有效
| 申请号： | 03137771.8 | 申请日： | 2003-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN1567595A | 公开（公告）日： | 2005-01-19 |
| 发明（设计）人： | 张盛东;陈文新;黄如;刘晓彦;张兴;韩汝琦;王阳元 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 关畅 |
| 地址： | 100871北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了半导体集成电路制造技术领域中一种双栅金属氧化物半导体晶体管及其制备方法，目的是提供一种自对准的电分离双栅金属氧化物半导体晶体管(MOS晶体管)。本发明所提供的双栅金属氧化物半导体晶体管，包括硅衬底及其上的绝缘介质层、源/漏区、沟道(体)区、栅介质层、栅电极。其特征在于：所述沟道区为所述绝缘介质层上一垂直于所述硅衬底的硅墙；所述沟道区左右两侧对称地依次纵向排列所述栅介质层、栅电极；分布在所述沟道区左右两侧的栅电极相互自对准且电分离。本发明还提供了制备该双栅MOS晶体管的方法。本发明的双栅MOS晶体管避免了产生寄生元件，使得其在高速低功耗集成电路上的应用潜力得以充分发挥。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 氧化物 半导体 晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种双栅MOS晶体管，包括硅衬底及其上的绝缘介质层、源/漏区、沟道(体)区、栅介质层、栅电极。其特征在于：所述沟道区为所述绝缘介质层上一垂直于所述硅衬底的硅墙；所述沟道区左右两侧对称地依次纵向排列所述栅介质层、栅电极；分布在所述沟道区左右两侧的栅电极相互自对准且电分离。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京大学，未经北京大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/03137771.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
