[发明专利]防止回溅的装置与方法有效
| 申请号： | 03137832.3 | 申请日： | 2003-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN1549058A | 公开（公告）日： | 2004-11-24 |
| 发明（设计）人： | 曾士庭;钟昱正;郭丁瑞 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G02F1/13;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 陈桢 |
| 地址： | 台湾省新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种防止回溅的装置，是用于面板或基板的黄光制作过程，以防止滴置于基板或面板表面的液体(例如显影液或光阻液)，经旋涂后，溅散于周缘后又回溅至基板或面板。因而引起图样或黄光制作过程的缺陷，造成产品的劣化。该防止回溅的装置主要包含：一旋转器，至少一液体喷洒单元，至少一围绕部分该旋转器的挡板，以及一粗糙化单元。而防止回溅的方法，在此也一并揭示。 | ||
| 搜索关键词： | 防止 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种防止回溅的装置，是配合一基板，其特征在于，主要包含：一旋转器，用以容置及旋转该基板；至少一液体喷洒单元，位于该旋转器的一侧，用以喷洒一液体至该基板；至少一围绕部分该旋转器的挡板，用以防止该液体溅出；一粗糙化单元，是披覆于部分该挡板上，用以防止该液体被该挡板回溅。
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