[发明专利]面压分布传感器及其制造方法无效
| 申请号： | 03138617.2 | 申请日： | 2003-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN1469110A | 公开（公告）日： | 2004-01-21 |
| 发明（设计）人： | 清水真;三井雅志;上田博之 | 申请（专利权）人： | 三洋电机株式会社 |
| 主分类号： | G01L5/00 | 分类号： | G01L5/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 戈泊;程伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种面压分布传感器及其制造方法，因面压分布传感器大量生产时的再现性不佳，一向就有确保感测特性的稳定性、可靠性等需求，同时本方法谋求进一步提高生产率和合格率。本发明是在密封剂内侧设置止流装置，以防止由密封剂的毛细现象导致的对传感器内部的浸入。并且，使对向电极膜片与基板间的间距最优化，提高感测特性。另外，将触头的材料及配置位置、以及对向电极膜片的张力等进行最优化，从而实现特性的稳定化、确保可靠性、提高生产率和合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 分布 传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种面压分布传感器，其特征在于，具有设在基板上的单位检测元件，与由密封剂固定于所述基板上，且与所述基板相对而设的可挠性导电膜片，其中，所述基板与所述可挠性导电膜片间的间距为15μm以上，40μm以下。
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