[发明专利]具有群组补偿能力的曝光系统及方法有效
| 申请号： | 03138635.0 | 申请日： | 2003-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN1549057A | 公开（公告）日： | 2004-11-24 |
| 发明（设计）人： | 郭荣治;陈任和 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王一斌 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种具有群组补偿能力的曝光系统，包括一批货分类数据库、一补偿单元与一第一曝光装置。批货分类数据库中记录相应批货晶圆的群组分类。补偿单元由批货分类数据库取得相应批货晶圆的群组分类，依据群组分类检索相应的群组补偿值，并依据群组补偿值对于相应的对准参数进行补偿。第一曝光装置使用补偿后的对准参数对于批货晶圆进行包含对准与曝光作业的后端制程。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 补偿 能力 曝光 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有群组补偿能力的曝光系统，其特征在于：所述曝光系统包括：一批货分类数据库，记录相应至少一批货晶圆的一群组分类；一补偿单元，由该批货分类数据库取得相应该批货晶圆的该群组分类，依据该群组分类检索相应该批货晶圆的一群组补偿值，并依据该群组补偿值对于相应的至少一对准参数进行补偿；以及一第一曝光装置，使用补偿后的该对准参数对于该批货晶圆进行包含对准与曝光作业的一后端制程。
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