[发明专利]γ－Fe2O3基苯类气体敏感器件及其制造方法

摘要

γ－Fe₂O₃基苯类气体敏感器件及其制造方法，属于金属氧化物半导体一类气敏传感器及制作技术领域。γ－Fe₂O₃基苯类气体敏感器件，管芯表面敏感材料组分为：含钇的γ－Fe₂O₃细粉，SnSO₄，SnO，SnCl₃，AuCl₃和酸洗石棉，含钇的γ－Fe₂O₃超细粉是硝酸铁Fe(NO₃)₃·9H₂O溶于乙二醇中，与Y₂O₃结晶体一起回流、蒸馏、干燥得干凝胶、热处理而得。含钇的γ－Fe₂O₃为基质，称量加入上述各组分，研磨、涂敷、晾干后，采用低温低温长时间烧结工艺制得气敏器件。本发明的γ－Fe₂O₃基苯类气体敏感器件是高灵敏度、高分辨率、高稳定性的苯类有机气体敏感器件，制造方法简便。

主权项

1.γ-Fe2O3基苯类气体敏感器件，采用旁热式元件结构，管芯表面涂敷γ-Fe2O3基敏感材料，形成气敏素子，其特征在于敏感材料组分为：含钇的γ-Fe2O3细粉，SnSO4，SnO，SnCl3，AuCl3，和酸洗石棉，其重量比依此为1∶0.15～0.25∶0.04～0.08∶0.04～0.08∶0.01～0.04∶0.04～0.08；上述含钇的γ-Fe2O3超细粉是按摩尔比Y2O3∶γ-Fe2O3＝1∶8～12的比例，将Y2O3溶于稀硝酸中，再在80℃烘干得到Y2O3结晶体，硝酸铁Fe(NO3)3·9H2O溶于乙二醇中，并与Y2O3结晶体一起70℃回流得到溶胶，80℃蒸馏得凝胶，进一步干燥得到干凝胶，在250～300℃温度热处理1～2小时制备出含钇的γ-Fe2O3细粉，粒径≤20nm。