[发明专利]一种大截面磷酸二氢钾类单晶体的生长方法及装置无效
申请号: | 03139027.7 | 申请日: | 2003-09-01 |
公开(公告)号: | CN1519397A | 公开(公告)日: | 2004-08-11 |
发明(设计)人: | 王圣来;房昌水;李毅平;顾庆天;孙洵;高樟寿;王波 | 申请(专利权)人: | 山东大学 |
主分类号: | C30B7/08 | 分类号: | C30B7/08;C30B29/14 |
代理公司: | 济南三达专利事务所 | 代理人: | 孙君 |
地址: | 250100*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 一种大截面磷酸二氢钾类单晶体的生长方法及装置,属于晶体生长技术领域。原料为固体KDP类晶体的粉状原料,生长溶液是以水或重水为溶剂配置的溶液,籽晶采用与生长晶体相同的透明Z切晶片固定到载晶架上,固体KDP类晶体原料加入生长容器底部,加挡板,配制好的溶液经超细微孔滤膜过滤后加入容器中,分别控制晶体生长容器的两个温区的温度,采用恒温法并结合降温法生长大截面KDP类晶体。生长装置是在晶体生长容器中设有一挡板将容器隔成两部分,形成高、低两个温区,挡板上有小孔。本发明生长工艺容易实现,设备简单,可获得高质量大截面磷酸二氢钾类单晶体。 | ||
搜索关键词: | 一种 截面 磷酸 二氢钾类 单晶体 生长 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.大截面磷酸二氢钾类单晶体的生长方法,原料为固体KDP类晶体的粉状原料,生长溶液是以水或重水为溶剂配置的溶液,籽晶采用与生长晶体相同的透明Z切晶片,其特征在于,具体步骤如下:(1)按所需生长晶体重量的1~1.5倍将固体KDP类晶体原料加入生长容器底部,加挡板,将在35-80℃下配制好的溶液经超细微孔滤膜过滤后加入容器,将上部生长区溶液温度设定为溶液饱和点向上2-5℃平衡24-48小时待放籽晶;(2)籽晶采用透明Z切晶片,在籽晶的(001)方向钻孔,固定到载晶架上,将固定了籽晶的载晶架置于烘箱中,升温到与生长区溶液相同的温度再平衡12~24小时;(3)将步骤(2)中温度已平衡的固定有籽晶的载晶架放入步骤(1)的溶液中,进行“正向-停-反向”的旋转;使生长区的溶液自然降温到饱和点以下,晶体开始生长,然后再按设定的过饱和度将温度恒定在饱和点以下0.5-2.5℃使晶体稳定生长,同时调整溶解区温度到高于生长区温度2-10℃,使容器底部的晶体原料不断溶解,通过挡板孔隙输运到生长区,以补充晶体生长消耗掉的原料;(4)待晶体生长到所需尺寸时,逐渐缓慢地降低生长区溶液温度,同时调整溶解区温度低于生长区温度,当溶液温度降低到室温时,将溶液抽出,取出晶体。
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