[发明专利]超微质量及超微载荷变化量检测装置及其检测方法

摘要

本发明涉及一种检测装置，具体说涉及一种超微质量及超微载荷变化量检测装置及其检测方法。包括有机体(1)，原子力显微镜检测装置(27)，弹性测微装置(26)，所述弹性测微装置(26)通过螺杆(2)与机体(1)连接，弹性测微装置(26)与机体(1)之间装有压缩弹簧(3).本发明设计一种方法和装置，该装置一方面能够以扫描探针显微镜超微分辨能力进行微观量的探测，另一方面又适应于通常工程技术领域中微观量的精密检测。检测的物理量经过处理容易适用于对过程的监控、计算、转换。本发明将使工程上获得一种十分精密的超微质量和超微载荷变化量的检测手段，采用本发明，将使微质量和超微载荷变化量的检测变得相对容易。适用范围广，相对操作条件简化。

主权项

1.一种超微质量及超微载荷变化量检测装置，其特征在于包括机体(1)，原子力显微镜检测装置(27)，弹性测微装置(26)，所述弹性测微装置(26)通过螺杆(2)与机体(1)连接，弹性测微装置(26)与机体(1)之间装有压缩弹簧(3)。