[发明专利]导光板模仁制造方法无效
| 申请号： | 03140030.2 | 申请日： | 2003-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN1576899A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | 陈杰良;余泰成 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/02 | 分类号： | G02B5/02;G03F7/00;G02F1/1335 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种导光板模仁制造方法。该导光板模仁制造方法包括在基板涂覆光阻层、采用灰阶光罩对光阻层曝光、显影形成光阻图案和蚀刻基板形成模仁的步骤。本发明由于采用灰阶光罩，一次曝光显影即得到所需光阻图案，可提高采用该制造方法的产品尺寸与形状的精确度，而且简化制造方法、节省工时。 | ||
| 搜索关键词： | 导光板 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种导光板模仁制造方法，其包括：在基板表面涂覆光阻层；采用灰阶光罩对光阻层曝光；显影形成光阻图案；蚀刻该基板表面形成模仁。
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