[发明专利]气体传感器无效
申请号: | 03140476.6 | 申请日: | 2003-09-06 |
公开(公告)号: | CN1590998A | 公开(公告)日: | 2005-03-09 |
发明(设计)人: | 黄文正;黄全德 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | G01N27/30 | 分类号: | G01N27/30;G01N27/333 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518109广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种气体传感器,包括:一绝缘基底;形成于绝缘基底上的至少两个电极;一形成于绝缘基底的传感膜,该传感膜包括传感微粒,并且至少覆盖于两电极的表面。其中,至少一个电极形成有若干分隔设置的容纳结构,其分别容纳有传感微粒。本发明利用电极基材提供分隔,解决现有技术中经高温制程后传感膜疏松性降低的问题,增加气体传感器的灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 气体 传感器 | ||
【主权项】:
1.一种气体传感器,包括:一绝缘基底;形成于绝缘基底上的至少两个电极;一形成于绝缘基底的传感膜,该传感膜包括传感微粒,并且至少覆盖于两电极的表面,其特征在于:至少一个电极形成有若干分隔设置的容纳结构,该容纳结构至少容纳部分传感微粒。
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