[发明专利]镍或镍合金的剥离液有效
申请号: | 03140715.3 | 申请日: | 2003-05-30 |
公开(公告)号: | CN1461822A | 公开(公告)日: | 2003-12-17 |
发明(设计)人: | 高桥健一;木暮直毅;细田笃史 | 申请(专利权)人: | 三菱瓦斯化学株式会社 |
主分类号: | C23F1/28 | 分类号: | C23F1/28;C23F1/44;H05K3/06 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 谷惠敏;关兆辉 |
地址: | 暂无信息 | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供在不溶解镍或镍合金以外的金属,特别是不溶解铜或铜合金薄膜以及锡或锡合金薄膜的条件下,选择性高速溶解镍或镍合金薄膜的剥离液。本发明的剥离液为含有(a)过氧化氢、(b)无机酸、(c)季胺盐及(d)碳数为3~7的脂肪族醇的水溶液。 | ||
搜索关键词: | 镍合金 剥离 | ||
【主权项】:
1.一种镍或镍合金的剥离液,为含有(a)过氧化氢、(b)无机酸、(c)季胺盐及(d)碳数为3~7的脂肪族醇的水溶液。
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