[发明专利]载台装置及曝光装置有效
| 申请号： | 03140734.X | 申请日： | 2003-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN1469193A | 公开（公告）日： | 2004-01-21 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫 | 申请（专利权）人： | 尼康株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王学强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种载台装置，它具有一个导引构件，导引着保持基板的一个载台本体在一个第一方向移动自如的方式，并在一个基座上往一个第二方向移动，以及一个驱动装置，驱动该载台本体往该第一方向。在该导引构件及该基座之间配设一个从动载台，连接该驱动装置的一部分，并与该导引构件往该第二方移动。可无损于驱动装置的控制性，且可达成装置的轻巧化并可抑制资源供给构件的发尘。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 曝光 | ||
【主权项】：
1.一种载台装置，包括：一个导引构件，导引着保持基板的一个载台本体在一个第一方向移动自如的方式，并在一个基座上往一个第二方向移动；以及一个驱动装置，驱动该载台本体往该第一方向，其特征在于包括：一个从动载台，连接该驱动装置的一部份，与该导引构件往该第二方向移动，该从动载台被配设在该导引构件及该基座之间。
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