[发明专利]化学气相沉积涂涂料设备有效
| 申请号： | 03140988.1 | 申请日： | 2003-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN1495285A | 公开（公告）日： | 2004-05-12 |
| 发明（设计）人： | 格雷戈尔·阿诺尔德;斯特凡·贝勒;安德烈亚斯·吕特林豪斯－亨克尔;马蒂亚斯·比克尔 | 申请（专利权）人： | 肖特·格拉斯公司 |
| 主分类号： | C23C16/00 | 分类号： | C23C16/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 郑修哲 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 为了经济有效地进行长时间的化学气相沉积涂料，本发明提供了一种化学气相沉积涂料设备，该设备包括一个传送装置；至少一个用于涂料工件的涂料站；至少一个抽空装置以及一个用来至少在涂料站的一个子区域内形成等离子体的装置；在该设备中，该至少的一个涂料站内至少能接收两个工件。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 沉积 涂料 设备 | ||
【主权项】：
1、一种化学气相沉积涂料设备(1)，其包括：一传送装置(2)；至少一个用于对工件涂料的涂料站(3，31-46)；至少一个抽空装置(19)以及一个至少在涂料站(3，31-46)的一个子区域内形成等离子体的装置；其中该至少的一个涂料站(3，31-46)内至少能接收两个工件。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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