[发明专利]结合有天线的半导体组件结构无效

专利信息
申请号: 03141317.X 申请日: 2003-06-10
公开(公告)号: CN1479407A 公开(公告)日: 2004-03-03
发明(设计)人: 真篠直宽 申请(专利权)人: 新光电气工业株式会社
主分类号: H01Q1/22 分类号: H01Q1/22;H01Q1/36;H01Q3/00
代理公司: 北京市中咨律师事务所 代理人: 于静;杨晓光
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种结合有天线的半导体组件结构,通过改进组成天线3的组件结构的材料减小天线的长度。铁电层(2)形成在硅板(1)上,由导体膜组成的天线(3)形成在铁电层(2)上。通孔(9)形成在硅板(1)上。如电容器、SAW滤波器和电感的电子元件结合到硅板(1)上以组成组件结构。
搜索关键词: 结合 天线 半导体 组件 结构
【主权项】:
1.一种半导体组件结构,包括:具有第一和第二表面的硅板,形成在硅板的第一表面或第二表面的至少一部分上的铁电层;以及形成在铁电层上由导电膜组成的天线。
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