[发明专利]伺服比较式偏振光位移传感器系统

摘要

本发明公开了一种伺服比较式偏振光位移传感器系统。在起偏器的一侧装有发光元件、另一侧装有由伺服或步进电机带动转动的同心圆正交双检偏器，检偏器的另一侧装有两个光电检测元件，分别与比较放大器两输入端连接，其输出端经信号处理电路、电机驱动器接伺服或步进电机。它以偏振光光强信号过“零”检测和步进电机伺服比较为基础的差动式位移传感器系统，通过被测位移引起的角度变化和步进电机在光电信号控制下的角度伺服跟踪，完成机械位移至电机控制脉冲之间的转换，将工作点始终维持在线性度比较好的选定点，消除系统的非线性误差，提高测量准确度；用正交差动偏振检测结构排除光源光强漂移的影响；用伺服跟踪方式实现大量程的位移测量。

主权项

1.一种伺服比较式偏振光位移传感器系统，其特征在于：包括发光元件(2)，起偏器(3)，同心圆正交双检偏器(4)，伺服或步进电机(5)，两个光电检测元件(6、7)，比较放大器(8)，信号处理电路(9)，电机驱动器(10)；在起偏器(3)的一侧装有发光元件(2)，在起偏器(3)的另一侧装有由伺服或步进电机(5)带动转动的同心圆正交双检偏器(4)，检偏器的另一侧装有两个光电检测元件(6、7)，两个光电检测元件(6、7)分别与比较放大器(8)的两输入端连接，比较放大器(8)的输出端经信号处理电路(9)、电机驱动器(10)接伺服或步进电机(5)。