[发明专利]γ－LiAlO2/α－Al2O3柔性衬底材料及其制备方法无效
| 申请号： | 03141903.8 | 申请日： | 2003-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN1482688A | 公开（公告）日： | 2004-03-17 |
| 发明（设计）人： | 徐军;彭观良;周圣明;杨卫桥;王海丽;周国清;杭寅;赵广军;李红军;吴锋;王静雅;司继良;蒋成勇;宋词 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/84;H01S5/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种适合于高质量GaN外延生长的γ－LiAlO2/α－Al2O3柔性衬底材料及其制备方法，该柔性衬底材料是在白宝石α－Al2O3上设有一层四方相的铝酸锂γ－LiAlO2构成。该柔性衬底材料的制备方法是：先将清洗的α－Al2O3衬底送入脉冲激光淀积(PLD)系统，在富锂的环境气氛下淀积Li2O薄膜，然后将上步骤中得到的Li2O/α－Al2O3样品放入退火炉中，在富锂的反应气氛下，Li2O与α－Al2O3在高温下发生固相反应得到γ－LiAlO2覆盖层，通过控制退火时间得到具有不同厚度的γ－LiAlO2覆盖层，再利用去离子水溶解清洗掉未反应的Li2O，从而得到γ－LiAlO2/α－Al2O3柔性衬底。 | ||
| 搜索关键词： | lialo sub al 柔性 衬底 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种适合于高质量GaN外延生长的γ-LiAlO2/α-Al2O3柔性衬底材料，其特征是在白宝石α-Al2O3上设有一层四方相的铝酸锂γ-LiAlO2，构成γ-LiAlO2/α-Al2O3柔性衬底。
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