[发明专利]检测光信号的方法

摘要

本发明是使用成象器件检测光信号的方法，该方法包括以下步骤：通过信号光在光电二极管的阱区(15)中产生光生空穴，通过大部分阱区(15)把光生空穴转移到形成在源区(16)附近的阱区(15)中的重掺杂掩埋层(25)中，重掺杂掩埋层(25)用比绝缘栅FET的阱区(15)重的杂质掺杂，在重掺杂掩埋层(25)中储存光生空穴，由此与光生电荷的量相对应改变FET的阈值电压，读取阈值电压的变化，作为被光传感器接收的信号光的量。

主权项

1、一种检测光信号的方法，包括以下步骤：通过信号光在p型阱区中产生电子和空穴；将所述光生电子和空穴中的空穴转移到p型重掺杂掩埋层，该重掺杂掩埋层被掩埋在形成在所述p型阱区中的绝缘栅场效应晶体管的n型源区附近并被以高于所述p型阱区的浓度掺杂，以在所述重掺杂掩埋层中积累所述转移空穴，由此根据所述积累的空穴量改变所述绝缘栅场效应晶体管的阈值电压；读出所述阈值电压的变化，作为被接收的所述信号光的量。